MEMS-Technologie

– Mikromechanische Präzision für anspruchsvolle Anwendungen 

Die durch MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ermöglichte Miniaturisierung revolutioniert inertiale Sensortechnik.

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Technologie, die weltweit Maßstäbe setzt

LITEF entwickelt hochmoderne inertiale Navigations- und Stabilitätslösungen sowie Sensorsysteme mit einem Fokus auf modernste Technologien. Durch kontinuierliche Fortschritte in MEMS-Technologie entwickelt LITEF überdurchschnittlich robuste Lösungen.

Die Grenzen des Machbaren verschieben

Anfang der 2000er Jahre beginnt LITEF mit der Entwicklung mikromechanischer Kreisel (MEMS). MEMS- und FOG-Technologie sind auch heute die Kerntechnologien bei LITEF, auf deren Basis innovative und ITAR-freie Produkte für verschiedenste Anwendungen und Missionseinsätze entwickelt und produziert werden.

Durch die Weiterentwicklung der FOG- und MEMS-Technologien kann LITEF Inertialreferenzsysteme anbieten, die sich durch niedriges Gewicht, geringes Volumen und geringe Verlustleistung bei hoher Genauigkeit der Sensordaten auszeichnen.

MEMS-Sensoren sind mikromechanische Bauteile, die mechanische Strukturen auf einem Chip vereinen. Sie ermöglichen hochpräzise Messungen von Bewegung, Lage und Beschleunigung bei gleichzeitig kompakter Bauform, geringem Energieverbrauch und hoher Widerstandsfähigkeit gegenüber äußeren Einflüssen. LITEF entwickelt und fertigt MEMS-Sensoriklösungen für Anwendungen mit besonders hohen technischen Anforderungen.

1-achsige MEMS-Gyroskope mit Shockfestigkeit bis 500 g Bias-Stabilität von 1°/h 0.05°/√h Rauschen (ARW) Entwickelt für Umgebungen mit hoher mechanischer Belastung und dynamischen Bewegungen

3-achsige Triade mit extrem geringer Vibrationsgleichrichtung (VRE) Hohe Messgenauigkeit und geringe Skalenfaktorfehler über einen weiten Frequenzbereich Ideal für präzise Messungen in dynamischen Systemen

MEMS-IMU für militärische Anwendungen mit 3 Gyroskopen + 3 Beschleunigungssensoren ±1500°/s Messbereich der Gyroskope und ±70g Messbereich der Beschleunigungssensoren DO-254-zertifizierte MEMS-IMU mit 3 Gyroskopen + 3 Beschleunigungssensoren für sicherheitskritische Anwendungen in der Luft- und Raumfahrt Hochleistungs-MEMS-IMU mit 1°/h Bias-Stabilität und Skalenfaktorfehler der Beschleunigungssensoren < 300 ppm

Innovation, die Standards setzt

FOG-, MEMS- und Sensorfusion-Lösungen werden in den nächsten Jahren die Gebiete sein, in denen LITEF seine führende Marktposition halten möchte. Mit seinem Systemwissen lotet das Unternehmen das technologisch Machbare immer weiter aus.

MEMS-Exzellenz für die Navigation von morgen

Technologiekompetenz und Entwicklungsfokus

Unsere MEMS-Produkte basieren auf tiefgreifendem Know-how in den Bereichen MEMS- Sensordesign und FEM-Simulation, hochpräzise MEMS-Fertigung im eigenen Reinraum, Assembly & Packaging der MEMS-Sensoren, Kalibrierung und Fehlerkompensation, Signalauswertung durch inhouse entwickelte Sensor ASICs sowie mechanische und thermische Robustheit.

Ausblick: MEMS für Gyro-Compassing

Während klassische MEMS-IMUs bislang nicht die Präzision optischer Systeme wie FOG (Fiber Optic Gyroscopes) Sensoren erreichen konnten, arbeitet LITEF daran, diese technologische Lücke zu schließen. Unser Ziel: Die Entwicklung MEMS-basierter Sensorlösungen, die präzises Gyro-Compassing ermöglichen. Das bedeutet zuverlässige Nordfindung basierend auf rein MEMS inertialer Sensorik, Einsatz ohne externe Referenzsysteme wie GNSS oder Magnetfeldsensoren sowie kompakte, robuste und kosteneffiziente Navigationslösungen. Damit dringt MEMS-Technologie in ein Feld vor, das bisher ausschließlich hochpreisigen optischen Systemen vorbehalten war und eröffnet neue Anwendungsmöglichkeiten insbesondere im sicherheitskritischen und mobilen Bereich.

Warum MEMS von LITEF?

Unsere MEMS-Sensorlösungen sind speziell für anspruchsvollste Anwendungen konzipiert und liefern unter härtesten Umweltbedingungen zuverlässig die versprochene Performance.

Ob unter Schockbelastung, bei extremen Temperaturen oder in hochdynamischen Systemen: MEMS-Produkte von LITEF stehen für Präzision, Stabilität und technologische Exzellenz – Made in Germany.